Рассмотрены термодинамические условия конгруентного испарения в вакууме нестехиометрических тугоплавких соединений МХ„. Показано, что характер испарения при данной температуре обусловлен видом зависимости свободной энергии от состава соединения. Установлена функциональная связь между составом конгруентно испаряющегося нестехиометрического соединения и температурой испарения. Обсуждены особенности высокотемпературного вакуумного испарения карбида ниобия.