Одновременное приложение высоких давления и температуры к соединениям переменного состава при определенных условиях может приводить к изменению равновесий концентрации структурных вакансий в них и к получению таких составов этих соединений, которые обычными методами синтеза получить нельзя. С учетом изменения объема вещества вследствие изменения дефектности, сжатия под давлением и теплового расширения найдена в общем виде зависимость равновесий концентрации вакансий от температуры и давления. На примере кубических карбидов циркония и ванадия проведен расчет термобарических условий синтеза этих соединений с заданным числом вакансий в подрешетке углерода, в том числе практически бездефектных карбидов циркония и ванадия стехиометрического состава.