Разработка манипулятора для обработки кремниевых пластин в вакуумной камере

Капустин Д. К. Разработка манипулятора для обработки кремниевых пластин в вакуумной камере / Д. К. Капустин, И. А. Белянов, А. А. Осипов // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Вакуумная техника и технологии - 2023", 20-22 июня 2023 г., Санкт-Петербург. - Санкт-Петербург, 2023. - С. 88-92.

Документ доступен в ЦНБ УрО РАН: 

Нет

Год: 

2023

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Энергетика

Вид издания: 

  • доклад


h1