Гончаров О. Ю. Разработка исследовательского CVD оборудования / О. Ю. Гончаров, Л. Х. Балдаев // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Вакуумная техника и технологии - 2023", 20-22 июня 2023 г., Санкт-Петербург. - Санкт-Петербург, 2023. - С. 118-123.
Документ доступен в ЦНБ УрО РАН:
Нет
Год:
2023
Связанные персоналии:
Нет
Рубрики:
- Энергетика
Вид издания:
- доклад