Разработка исследовательского CVD оборудования

Гончаров О. Ю. Разработка исследовательского CVD оборудования / О. Ю. Гончаров, Л. Х. Балдаев // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Вакуумная техника и технологии - 2023", 20-22 июня 2023 г., Санкт-Петербург. - Санкт-Петербург, 2023. - С. 118-123.

Документ доступен в ЦНБ УрО РАН: 

Нет

Год: 

2023

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Энергетика

Вид издания: 

  • доклад


h1