Физические основы технологий микро- и наноэлектроники

Зацепин Дмитрий Анатольевич
Чолах Сеих Османович
Зацепин Д. А. Физические основы технологий микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Д. А. Зацепин, С. О. Чолах ; научный редактор Э. З. Курмаев ; Уральский государственный технический университет-УПИ, Российская академия наук, Институт физики металлов Уральского отделения РАН. - Екатеринбург, 2006. - 236 с.

Год: 

2006

Связанные персоналии: 

Курмаев Эрнст Загидович - Редактор

Рубрики: 

  • Радиоэлектроника

Вид издания: 

  • учебное издание

Коллекции:
Издания институтов УрО РАН >> Институт физики металлов УрО РАН (Екатеринбург)
Все разделы >> Издания УрФУ (УПИ, УрГУ)

h1

Публичные страницы

Публичные страницы

Страницы

Страницы
Аннотация

Аннотация

В книге изложены основные направления развития микро- и наноэлектроники: рассмотрены физические основы функционирования интегральных микросхем (ИС) и их структурных элементов, приведены конструктивно-технологические варианты исполнения ИС, проанализированы физические особенности отечественных и зарубежных промышленных технологических процессов формирования топологии полупроводниковых радиоэлектронных устройств. Описаны конструкции перспективных структурных элементов микро- и наноэлектроники, а также методы их изготовления. Учебник предназначен для студентов специальности 210101 - Физическая электроника направления подготовки дипломированных специалистов 654100 - Электроника и микроэлектроника, аспирантов и научных работников.