В монографии изложены метрологические аспекты вопросов контроля геометрических параметров ультрадисперсных частиц сканирующим туннельным микроскопом. Рассмотрены теоретические особенности процесса химического травления атомарно острых измерительных игл и технологии их изготовления. Приведены технические и методические решения, направленные на разработку программно-аппаратного обеспечения специализированного цифрового сканирующего туннельного микроскопа. Книга адресована специалистам в области информационно-измерительной техники, материаловедения, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.