Зацепин Д. А. Физические основы технологий микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Д. А. Зацепин, С. О. Чолах ; научный редактор Э. З. Курмаев ; Уральский государственный технический университет-УПИ, Российская академия наук, Институт физики металлов Уральского отделения РАН. - Екатеринбург, 2006. - 236 с.
Год:
2006
Связанные персоналии:
Курмаев Эрнст Загидович -
Редактор
Рубрики:
- Радиоэлектроника
Вид издания:
- учебное издание