Газофазное осаждение тантала на молибденовую подложку

Газофазное осаждение тантала на молибденовую подложку / О. Ю. Гончаров, А. В. Трубачев, Р. Р. Файзуллин, М. Г. Шадрин // XIV Уральская школа металловедов-термистов "Фундаментальные проблемы физического металловедения перспективных материалов", Ижевск, 23-27 февраля 1998 г. - Ижевск ; Екатеринбург, 1998. - С. 224-225.

Документ доступен в ЦНБ УрО РАН: 

Нет

Год: 

1998

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение

Вид издания: 

  • тезисы


h1