Введение в современную микро- и наносистемную технику

Гридчин А. В.
Введение в современную микро- и наносистемную технику / Гридчин А. В.. - Б. м. : Инфра-инж, 2024. - 232 с. - ISBN 978-5-9729-1613-9
ББК 32.81

Аннотация:

"Раскрыто основное содержание понятий ""микросистема"" и ""микросистемная техника"". В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 ""Приборостроение"" и 28.03.01 ""Нанотехнологии и микросистемная техника"", для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей."