Структурные и морфологические изменения подложек SiC при резистивном отжиге

Структурные и морфологические изменения подложек SiC при резистивном отжиге / Д. Е. Дураков, А. С. Петров, Д. И. Рогило [и др.] // Нанофизика и наноэлектроника : тезисы докладов, Нижний Новгород, 10–14 марта 2025 года. – Нижний Новгород, 2025. – С. 289.

Документ доступен в ЦНБ УрО РАН: 

Нет

Год: 

2025

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Физика

Вид издания: 

  • тезисы

Коллекции:
Нет

h1